供给一种可以设置在细微的空间中并可以高效地集尘的集尘器。集尘器(1)包含：榜首电极层(12)，其由导体构成；第二电极层(14)，其由导体构成，具有仰望时掩盖榜首电极层(12)的巨细，具有沿厚度方向贯穿的残缺部(贯穿孔(14H)、狭缝(14S))，并具有仰望时掩盖榜首电极层(12)的巨细，与榜首电极层(12)相对地装备；以及绝缘层(榜首绝缘层(13)、第二绝缘层(15))，其由绝缘性的原料构成，使榜首电极层(12)和第二电极层(14)绝缘，与榜首电极层(12)及第二电极层(14)一同构成一个层结构

  (19)国家知识产权局 (12)创造专利请求 (10)请求发布号 CN 114555235 A (43)请求发布日 2022.05.27 (21)请求号 9.6 (74)专利署理组织 北京天达共和律师事务所 11798 (22)请求日 2021.08.31 专利署理师 关刚 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2020.09.24 JP B03C 3/40 (2006.01) (85)PCT世界请求进入国家阶段日 B03C 3/47 (2006.01) 2022.04.13 H01L 21/02 (2006.01) (86)PCT世界请求的请求数据 PCT/JP2021/031967 2021.08.31 (87)PCT世界请求的发布数据 WO2022/064977 JA 2022.03.31 (71)请求人 株式会社构思科技 地址 日本神奈川县 (72)创造人 长谷川乔彬森山纮行 权力要求书1页 阐明书4页 附图3页 (54)创造称号 集尘器及集尘办法 (57)摘要 供给一种可以设置在细微的空间中并可以 高效地集尘的集尘器。集尘器(1)包含：榜首电极 层(12)，其由导体构成；第二电极层(14)，其由导 体构成，具有仰望时掩盖榜首电极层(12)的大 小，具有沿厚度方向贯穿的残缺部(贯穿孔 (14H)、狭缝(14S))，并具有仰望时掩盖榜首电极 层(12)的巨细，与榜首电极层(12)相对地装备； 以及绝缘层(榜首绝缘层(13)、第二绝缘层 (15))，其由绝缘性的原料构成，使榜首电极层 (12)和第二电极层(14)绝缘，与榜首电极层(12) 及第二电极层(14)一同构成一个层结构。 A 5 3 2 5 5 5 4 1 1 N C CN 114555235 A 权力要求书 1/1页 1.一种集尘器，包含： 榜首电极层，其由导体构成； 第二电极层，其由导体构成，具有沿厚度方向贯穿的残缺部，并具有仰望时掩盖所述第 一电极层的巨细，与所述榜首电极层相对地装备；以及 绝缘层，其由绝缘性的原料构成，使所述榜首电极层和所述第二电极层绝缘，与所述第 一电极层及所述第二电极层一同构成一片的层结构。 2.如权力要求1所述的集尘器， 所述榜首电极层构成为所述榜首电极层的边际比所述第二电极层的边际靠内侧5mm以 上。 3.如权力要求1或权力要求2所述的集尘器， 还包含吸附层，其隔着所述绝缘层与所述第二电极层相对地装备。 4.如权力要求1至权力要求3的恣意一项所述的集尘器， 还包含支承基盘层，其隔着所述绝缘层与所述榜首电极层相对地装备。 5.如权力要求1至权力要求4的恣意一项所述的集尘器， 所述残缺部是圆形的贯穿孔。 6.如权力要求5所述的集尘器， 所述残缺部的内径为5mm～15mm，与相邻的所述残缺部的间隔为10mm～30mm。 7.如权力要求1至权力要求4的恣意一项所述的集尘器， 所述残缺部是狭缝。 8.如权力要求1至权力要求7的恣意一项所述的集尘器， 所述绝缘层由聚酰亚胺构成。 9.一种集尘办法， 向第二电极层施加电压，所述第二电极层隔着绝缘层与榜首电极层相对地装备为层 状，具有仰望时掩盖所述榜首电极层的巨细； 经过向所述榜首电极层施加电压而生成不均衡电场，所述不均衡电场为使从所述第二 电极层向外侧方向发生的电场经过所述第二电极层具有的残缺部而抵达所述榜首电极层 的电场； 沿所述不均衡电场运送微粒。 2 2 CN 114555235 A 阐明书 1/4页 集尘器及集尘办法 技能领域 [0001] 本创造触及集尘器及集尘办法。 布景技能 [0002] 例如，在半导体制作设备这样的设备的内部或许设备的邻近发生的细微的尘土 (微粒)，对由该设备制作的加工物构成异物不良等不良影响的状况较多。因而，存在减少装 置的内部或邻近等加工物邻近的微粒而使其清洁的需求。 [0003] 关于这一点，提出了过滤器集尘办法、电集尘办法、电场幕办法等技能。 [0004] 过滤器集尘办法经过空气导管抽吸现已飞散的微粒并使用过滤器过滤该空气。因 此，不能对飞散前的微粒进行集尘，别的压力丢失也较大，因而集尘功率差。 [0005] 电集尘办法经过离子发生器对微粒进行电晕放电而使其带电，并将带电的微粒集 尘于对立的电极对中的一个电极。因而，集尘器的周围带电，别的设备大型化，无法挑选设 置场所。 [0006] 也提出了省掉离子发生器的集尘设备(例如，专利文献1。)，但因为选用空气在电 极对之间经过的结构，因而省空间化存在极限。 [0007] 电场幕办法向埋入于电介质内的多相的线状电极施加交变电流而发生向一个方 向跋涉的不均衡电场，使带电的微粒浮起并将其向跋涉方向运送，进行集尘。在该设备中， 设备也大型化，无法挑选设置场所。 [0008] 在先技能文献 [0009] 专利文献 [0010] 专利文献1：日本特许第6620994号公报 创造内容 [0011] 创造要处理的技能问题 [0012] 因而，要求可以设置在细微的空间并可以高效地集尘的集尘器及集尘办法。 [0013] 用于处理技能问题的技能办法 [0014] 本创造供给一种集尘器，包含：榜首电极层，其由导体构成；第二电极层，其由导体 构成，具有沿厚度方向贯穿的残缺部，并具有仰望时掩盖所述榜首电极层的巨细，与所述第 一电极层相对地装备；以及绝缘层，其由绝缘性的原料构成，使所述榜首电极层和所述第二 电极层绝缘，与所述榜首电极层及所述第二电极层一同构成一个层结构。 [0015] 创造作用 [0016] 依据本创造，可供给一种可以设置在细微的空间中并可以高效地集尘的集尘器 及集尘办法。 附图阐明 [0017] 图1是集尘器的外观立体图。 3 3 CN 114555235 A 阐明书 2/4页 [0018] 图2是集尘器的图1中的AA线是集尘器的各层的仰望图。 [0020] 图4是表明集尘器中发生的电场的状况的剖视图。 具体施行办法 [0021] 以下，具体地阐明本创造的一施行办法的集尘器。 [0022] 图1是本施行办法的集尘器1的外观立体图，图2是集尘器1的图1中的AA线所示，集尘器1包含：支承基盘层11、榜首电极层12、榜首绝缘层13、第 二电极层14、第二绝缘层15、以及吸附层16。 [0024] 在榜首电极层12和第二电极层14上衔接有电源设备2。 [0025] 支承基盘层11是由绝缘体、更优选绝缘性的组成树脂构成的层。 [0026] 榜首电极层12是由导体构成的层。作为导体，例如可举出金箔、导电性的组成树 脂、碳等。榜首电极层被设于支承基盘层11的一个面。 [0027] 榜首绝缘层13是由绝缘体、更优选不阻碍电场的绝缘性的组成树脂构成的层。不 阻碍电场的绝缘性的树脂例如可举出聚酰亚胺。榜首绝缘层13被设于支承基盘层11的设有 榜首电极层12的一侧，与支承基盘层11一同或许由榜首绝缘层13独自围住榜首电极层12， 进行绝缘。 [0028] 第二电极层14是由导体构成的层。作为导体，例如可举出金箔、导电性的组成树 脂、碳等。第二电极层14被设于隔着榜首绝缘层13与榜首电极层12相对的方位。第二电极层 14具有沿厚度方向贯穿的残缺部，具有仰望时掩盖榜首电极层12的巨细。 [0029] 第二绝缘层15是由绝缘体、更优选不阻碍电场的绝缘性的组成树脂构成的层。不 阻碍电场的绝缘性的树脂例如可举出聚酰亚胺。第二绝缘层15被设于隔着第二电极层14与 榜首绝缘层13相对的方位，与榜首绝缘层13一同或许由第二绝缘层15独自围住第二电极层 14，进行绝缘。 [0030] 吸附层16被设于隔着第二绝缘层15与第二电极层14相对的方位。吸附层16由适于 吸附并保存微细的尘土(微粒)的原料构成。作为吸附层16的原料，可以恰当挑选选用粘合 剂、分子间力高的原料、摩擦力大的原料。 [0031] 集尘器1依照支承基盘层11、榜首电极层12、榜首绝缘层13、第二电极层14、第二绝 缘层15、吸附层16的次序构成为层状的一片片状或板状。 [0032] 榜首绝缘层13和第二绝缘层15也可以一体地构成。从而，支承基盘层11也可以使 用与榜首绝缘层13和第二绝缘层15相同的原料并与榜首绝缘层13和第二绝缘层15一体地 构成。 [0033] 如图2和图3所示，本施行办法的集尘器1可以构成为仰望例如正方形。以下，对集 尘器1构成为正方形的示例进行阐明，但集尘器1也可所以其他形状。 [0034] 支承基盘层11、榜首绝缘层13、第二绝缘层15以及吸附层16构成为一边为长度L1 的仰望时大致相同的正方形及巨细。 [0035] 第二电极层14构成为一边为比长度L1短的长度L2的正方形。 [0036] 榜首电极层12构成为一边为比长度L2短的长度L3的正方形。 4 4 CN 114555235 A 阐明书 3/4页 [0037] 因而，在从吸附层16侧的仰望中，榜首电极层12收敛于第二电极层14的内部，第二 电极层14收敛于支承基盘层11、榜首绝缘层13、第二绝缘层15以及吸附层16的内部。 [0038] 如图2所示，榜首电极层12构成为榜首电极层12的边际比第二电极层14的边际靠 内侧宽度W以上。宽度W优选为5mm以上。 [0039] 榜首电极层12的厚度T1比榜首绝缘层13的厚度T2薄。别的，第二电极层14的厚度 T3比第二绝缘层15的厚度T4薄。 [0040] 如图3所示，在仰望中，支承基盘层11、榜首电极层12、榜首绝缘层13、第二绝缘层 15以及吸附层16不具有残缺部，别离构成为一个面。 [0041] 与此不同，第二电极层14等间隔地设有沿厚度方向贯穿的圆形的贯穿孔14H作为 残缺部。贯穿孔14H例如内径为5mm～15mm，与相邻的贯穿孔14H的间隔为10mm～30mm。 [0042] 第二电极层14的变形例的第二电极层14A具有狭缝14S作为残缺部。狭缝14S从第 二电极层14A的一边朝向与该一边相对的边彼此替换地设置。因而，能防备吸附不均。 [0043] 残缺部以不阻碍向第二电极层14通电的办法设置。 [0044] 图4是表明集尘器1中发生的电场的状况的剖视图。在图4中，空心的箭头X和箭头Y 表明电场。 [0045] 在榜首电极层12和第二电极层14的一方衔接电源设备2的正极，在另一方衔接负 极，进行通电。 [0046] 在微粒为绝缘物的状况下，从集尘功率的点动身，优选将与该绝缘物的简单带电 的极相反的极衔接于第二电极层14。 [0047] 来自第二电极层14的电场如箭头X所示那样从第二电极层14经过第二绝缘层15和 吸附层16，抵达存在微粒的空间，再次经过吸附层16和第二绝缘层15，穿过第二电极层14的 残缺部并经过榜首绝缘层13，抵达与箭头Y所示的来自榜首电极层12的电场的均衡部。 [0048] 因而，在集尘器1的吸附层16的外侧方向生成不均衡电场，微粒经过朝向外侧的电 场而被从加工物等排挤，微粒经过朝向内侧的电场而沿电场移动并被吸附层16吸附。在此， 不均衡电场是指除了因为电场的抵消而成为均衡部的不具有方向性的正负0地址之外的范 围，是指发生具有方向性的库仑力的电场。在本施行办法中，榜首电极层12在图4的正面观 察中不是与第二电极层14相同的方位高度，而是隔着榜首绝缘层13从而被装备于榜首绝缘 层13的下方。因而，电场的均衡部不是图4的箭头X的上端，而是存在于箭头X与箭头Y相向的 方位、即集尘器1的内部，因而可以使进入电场内的废物一直向图4的箭头X所示的必定的方 向移动，集尘于设于集尘器1的上端面的吸附层16。 [0049] 在此，第二电极层14在仰望时掩盖榜首电极层12的整面。因而，因为来自第二电极 层14的电场的方向悉数集中于残缺方向、即集尘器1的仰望内侧方向，因而能防备微粒向 集尘器1的外侧飞散。 [0050] 从而，在电场的内部中，在微粒是导体或一部分绝缘物的状况下发生由静电感应 引起的带电，是绝缘物或半导体的状况下发生由电介质极化引起的带电，在恣意状况下微 粒均带电。 [0051] 带电的微粒乘着电场被运送，被吸附层16吸附。 [0052] 在此，对试验成果进行阐明。将本施行办法的集尘器1构成为60mm×60mm而进行实 验。 5 5 CN 114555235 A 阐明书 4/4页 [0053] 向相对于地上笔直立起的集尘器1的榜首电极层12施加2kv的电压，向第二电极层 14施加比施加到榜首电极层12的电压高的作为反向电压的‑4kv的电压。 [0054] 在集尘器1的吸附层16侧离隔间隔地用线mm的铝箔，确认到间隔拉近至约为100mm左右的间隔的作用。 [0056] 样品为10mm×0.5mm的硅晶片，确认到间隔拉近至约为50mm的间隔的作用。 [0057] 样品为10mm×0.5mm的树脂(丙烯酸树脂)，确认到间隔拉近至约为60mm的间隔的 作用。 [0058] 如上所述，本施行办法的集尘器1包含：榜首电极层12，其由导体构成；第二电极层 14，其由导体构成，具有仰望时掩盖榜首电极层12的巨细，并具有沿厚度方向贯穿的残缺部 (贯穿孔14H、狭缝14S)，与榜首电极层12相对地装备；以及绝缘层(榜首绝缘层13、第二绝缘 层15)，其由绝缘性的原料构成，使榜首电极层12和第二电极层14绝缘，与榜首电极层12及 第二电极层14一同构成一个层结构。 [0059] 别的，本施行办法的集尘办法如下：经过向隔着绝缘层(榜首绝缘层13)与榜首电 极层12相对地装备为层状并具有仰望时掩盖榜首电极层12的巨细的第二电极层14施加电 压，并向榜首电极层12施加电压而生成不均衡电场，该不均衡电场是使从第二电极层14向 外侧方向发生的电场经过第二电极层14具有的残缺部(贯穿孔14H、狭缝14S)而抵达榜首电 极层12的电场，沿该不均衡电场运送微粒。 [0060] 因而，依据本施行办法具有如下作用：可供给一种可以设置在细微的空间中并 可以高效地集尘的集尘器。 [0061] 附图符号阐明 [0062] 1 集尘器 [0063] 2  电源设备 [0064] 11 支承基盘层 [0065] 12 榜首电极层 [0066] 13 榜首绝缘层 [0067] 14 第二电极层 [0068] 14A 第二电极层 [0069] 14H 贯穿孔 [0070] 14S 狭缝 [0071] 15 第二绝缘层 [0072] 16 吸附层 6 6 CN 114555235 A 阐明书附图 1/3页 图1 图2 7 7 CN 114555235 A 阐明书附图 2/3页 图3 8 8 CN 114555235 A 阐明书附图 3/3页 图4 9 9

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